Proċessur tal-plażma huwa apparat użat għall-ipproċessar tal-plażma. L-istruttura tagħha tikkonsisti mill-komponenti ewlenin li ġejjin:
Kamra tal-kwittanza: Il-kamra tal-kwittanza hija l-komponent ewlieni ta 'proċessur fil-plażma. Juża vultaġġ AC għoli jew kampi elettriċi tal-frekwenza tar-radju biex jikkawża skariki ta 'gass, u b'hekk jifforma fil-plażma. Il-kamra tal-kwittanza hija tipikament magħmula minn materjali iżolanti bħal ċeramika jew ħġieġ.
Kamra tax-Xogħol: Il-kamra tax-xogħol hija l-post primarju għall-ipproċessar tal-materjal. Effetti ta 'proċessar differenti jinkisbu billi jiġu kkontrollati l-parametri differenti ta' gass, pressjoni u enerġija. Il-kamra tax-xogħol hija tipikament magħmula minn materjali bi proprjetajiet tajbin li jissiġillaw bil-vakwu, bħal metall jew ċeramika.
Sistema ta 'evakwazzjoni: Is-sistema tal-vakwu tintuża biex tiġi estratt il-gass mill-kamra tax-xogħol biex toħloq ambjent tal-vakwu matul l-ipproċessar. Is-sistema tal-vakwu tipikament tikkonsisti minn pompa tal-vakwu u sistema ta ’kontroll relatata.
Għoli - Provvista ta 'enerġija tal-frekwenza: il-provvista ta' enerġija ta 'frekwenza għolja- tipprovdi enerġija lill-proċessur tal-plażma, jonizzanti l-gass biex tifforma plażma permezz ta' kamp elettriku ta 'frekwenza għolja - frekwenza għolja. Il-provvista ta 'enerġija ta' frekwenza għolja - tipikament tikkonsisti minn komponenti elettroniċi u sistemi ta 'kontroll relatati.
Sistema ta 'Kontroll Awtomatiku: Is-sistema ta' kontroll awtomatiku tikkontrolla l-proċess kollu tal-ipproċessar tal-plażma, inkluż l-issettjar tal-parametri, il-kontroll tal-ħin tal-ipproċessar, u l-monitoraġġ tal-livell tal-vakwu. Is-sistema ta 'kontroll awtomatiku tipikament tikkonsisti minn kompjuter u softwer ta' kontroll relatat.
Barra minn hekk, il-proċessuri tal-plażma huma mgħammra b'sistema ta 'provvista tal-gass biex tforni l-gassijiet meħtieġa lill-kamra tal-kwittanza. Din is-sistema tipikament tikkonsisti minn ċilindru tal-gass, regolatur tal-pressjoni, kontrollur tal-fluss, u komponenti oħra.
Fil-qosor, l-istruttura ta 'proċessur fil-plażma tinkludi l-kamra ta' kwittanza, kamra li taħdem, sistema ta 'vakwu, provvista ta' enerġija ta 'frekwenza għolja -, u sistema ta' kontroll awtomatika. L-operazzjoni kkoordinata ta 'dawn il-komponenti tippermetti lill-proċessur tal-plażma jikkaġuna diversi reazzjonijiet fiżiċi u kimiċi fuq il-wiċċ tal-materjal, u b'hekk jinkiseb it-trattament mixtieq.